新型流量传感材料与工艺
新型流量传感材料与工艺
MEMS 流量传感器在汽车与医疗应用增长，工业应用逐步渗透。
- MEMS 流量传感
- 压电材料进步
- 传感器小型化
- 低成本化
- 应用拓展
MEMS新型传感器压电材料小型化低成本
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MEMS 流量传感器在汽车与医疗应用增长，工业应用逐步渗透。