行业应用：半导体与电子行业
半导体与电子行业
半导体行业对超纯介质与小流量测量要求极高。
- 超纯水（UPW）电阻率 18.2 MΩ·cm
- 材质须 PVDF、PFA 等超高纯材料
- 小流量测量（mL/min 级）用层流或科氏
- 特气流量用热式或科氏质量流量计
- 差压方案应用有限（怕污染）
- 须提供材质与洁净度证明
- 计量支撑工艺稳定性与良率
行业应用选型工程
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